三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是一種測(cè)量儀器，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的組成分為了好幾部分。主要包括了以下幾部分：

　　三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)可分為主機(jī)、測(cè)頭、電氣系統(tǒng)三大部分

　　主機(jī)結(jié)構(gòu)分為：

　　1、框架，是指測(cè)量機(jī)的主體機(jī)械結(jié)構(gòu)架子。它是工作臺(tái)、立柱、橋框、殼體等機(jī)械結(jié)構(gòu)的集合體；

　　2、標(biāo)尺系統(tǒng)，是測(cè)量機(jī)的重要組成部分，是決定儀器精度的一個(gè)重要環(huán)節(jié)。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)所用的標(biāo)尺有線紋尺、精密絲桿、感應(yīng)同步器、光柵尺、磁尺及光波波長等。該系統(tǒng)還應(yīng)包括數(shù)顯電氣裝置。

　　3、導(dǎo)軌，是測(cè)量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)的重要部件。測(cè)量機(jī)多采用滑動(dòng)導(dǎo)軌、滾動(dòng)軸承導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌，而以氣浮靜壓導(dǎo)軌為主要形式。氣浮導(dǎo)軌由導(dǎo)軌體和氣墊組成，有的導(dǎo)軌體和工作臺(tái)合二為一。氣浮導(dǎo)軌還應(yīng)包括氣源、穩(wěn)壓器、過濾器、氣管、分流器等一套氣體裝置。

　　4、驅(qū)動(dòng)裝置，是測(cè)量機(jī)的重要運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)機(jī)動(dòng)和程序控制伺服運(yùn)動(dòng)的功能。在測(cè)量機(jī)上一般采用的驅(qū)動(dòng)裝置有絲桿絲母、滾動(dòng)輪、鋼絲、齒形帶、齒輪齒條、光軸滾動(dòng)輪等傳動(dòng)，并配以伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)。直線馬達(dá)驅(qū)動(dòng)正在增多。

　　5、平衡部件，主要用于Z軸框架結(jié)構(gòu)中。它的功能是平衡Z軸的重量，以使Z軸上下運(yùn)動(dòng)時(shí)無偏得干擾，使檢測(cè)時(shí)Z向測(cè)力穩(wěn)定。如更換Z軸上所裝的測(cè)頭時(shí)，應(yīng)重新調(diào)節(jié)平衡力的大小，以達(dá)到新的平衡。Z軸平衡裝置有重錘、發(fā)條或彈簧、氣缸活塞桿等類型。

　　6、轉(zhuǎn)臺(tái)與附件，轉(zhuǎn)臺(tái)是測(cè)量機(jī)的重要元件，它使測(cè)量機(jī)增加一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)的自由度，便于某些種類零件的測(cè)量。轉(zhuǎn)臺(tái)包括分度臺(tái)、單軸回轉(zhuǎn)臺(tái)、萬能轉(zhuǎn)臺(tái)（二軸或三軸）和數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)等。用于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的附件很多，視需要而定。一般指基準(zhǔn)平尺、角尺、步距規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)球體（或立方體）、測(cè)微儀及用于自檢的精度檢測(cè)樣板等。